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            1. 新聞詳情

              分子泵市場分析(半導體泵設備保養)

              日期:2023-11-07 01:27
              瀏覽次數:2153
              摘要:分子泵市場分析(半導體泵設備保養),分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復合分子泵和牽引泵作為主泵。

              分子泵市場分析(半導體泵設備保養)


              分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復合分子泵和牽引泵作為主泵。


                 由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。


                 分子泵也廣泛應用于核物理、電真空和表面科學等領域,由于半導體行業發展迅速,真空泵的市場拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安,德國普發,歐瑞康萊寶, Busch,和 Osaka Vacuum等公司,其他制造商主要是國產儀器廠商,如北京北儀**真空技術有限責任公司,成都南光機器有限公司,中科院沈陽科學儀器等企業。但是,無論是在技術還是在市場發展上,國外的儀器產品都遠遠超過國內儀器產品。



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