CF法蘭使用注意事項(超高真空分子泵保養）
日期：2023-11-05 21:18
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摘要：CF法蘭使用注意事項(超高真空分子泵保養）, CF法蘭使用時有幾個注意點：螺栓一定要涂抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對齊;法蘭面要保持一點距離，為烘烤后繼續上緊螺栓留出余地。
CF法蘭中，刀口要切入金屬密封圈來實現真空密封。長期使用，刀口會逐漸變鈍。另外，受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時的補救措施之一，是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口，而依靠刀口
外周的斜面來密封。
CF法蘭使用注意事項(超高真空分子泵保養）
CF法蘭使用時有幾個注意點：螺栓一定要涂抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對齊;法蘭面要保持一點距離，為烘烤后繼續上緊螺栓留出余地。
CF法蘭中，刀口要切入金屬密封圈來實現真空密封。長期使用，刀口會逐漸變鈍。另外，受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時的補救措施之一，是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口，而依靠刀口
外周的斜面來密封。
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